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非晶薄膜的生長特性

非晶態是一種近程有序結構。就是在2個一3個原子距離內原子排列是有秩序的,大于這個距離其排列是雜亂無規則的。例如,非晶硅的每個原子仍為四價共價鍵,并且與最近鄰原子構成四面體,仍是有規律的。非晶態的另一個特點是,其自由能比同種材料晶態的自由能高,即處于一種亞穩態,有向平衡態(穩定態)轉變的趨勢。但是從亞穩態轉變為自由能低的平衡態,必須克服一定的勢壘。因此,非晶態及其結構具有相對的穩定性。這種相對穩定性直接關系著非晶態材料的使用壽命和應用。典型的非晶態材料是玻璃,此外,由蒸發、濺射、CVD等方法在基片溫度較低時制得的許多薄膜都屬于非晶態。
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