99精品一级欧美片免费播放-99精品一区-99精品一区二-99精品一区二区三区视频-99精品一区二区三区无码吞精-99精品一区无码在线观看

歡迎訪問揚(yáng)州欣達(dá)電子有限公司網(wǎng)站! 關(guān)于我們 聯(lián)系我們

專注于薄膜開關(guān),薄膜面板等研發(fā)與生產(chǎn)

安全省心,有效控制成本

img

咨詢電話:

0514-86859177

img

咨詢電話:

13805251384

PRODUCT CENTER
產(chǎn)品中心
行業(yè)資訊
企業(yè)動(dòng)態(tài)
技術(shù)文章
咨詢熱線

0514-86859177

技術(shù)文章

薄膜內(nèi)應(yīng)力起因

    一般認(rèn)為薄膜內(nèi)應(yīng)力是由熱效應(yīng)、相變、界面應(yīng)力、雜質(zhì)效應(yīng)等因素綜合作用的結(jié)果。
    一、熱效應(yīng)
    熱效應(yīng)是內(nèi)應(yīng)力的主要來源。因此在選擇基片時(shí)應(yīng)盡量選擇其熱膨脹系數(shù)與薄膜相接近的材料,或者選擇可使薄膜處于壓應(yīng)力狀態(tài)的基片材料。基片溫度對(duì)薄膜的內(nèi)應(yīng)力影響很大,它直接影響吸附原子在基片表面的遷移能力,從而影響薄膜的結(jié)構(gòu)、晶粒的大小、缺陷的數(shù)最和分布,而這些都與內(nèi)應(yīng)力大小有關(guān)。
    二、相變
    薄膜的形成過程實(shí)際上也是一個(gè)相變過程,即由氣相變?yōu)橐合嘣僮優(yōu)楣滔啵@種相變帶來體積上的變化,從而產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力。在薄膜形成過程中,首先是在基片上凝聚成短程有序的類液體固相,這時(shí)薄膜并沒有本征應(yīng)力;當(dāng)類液體固相向穩(wěn)定的晶相轉(zhuǎn)變以后,由于兩相密度不同,就產(chǎn)生了本征應(yīng)力。例如Ga由液相變?yōu)楣滔鄷r(shí)體積將發(fā)生膨脹,因而薄膜內(nèi)將產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力;Sb在常溫下形成的薄膜一般是非晶態(tài),當(dāng)膜厚超過某一臨界值時(shí)將發(fā)生晶化,晶化時(shí)體積收縮,薄膜內(nèi)就產(chǎn)生張應(yīng)力。
    三、界面應(yīng)力
    當(dāng)薄膜材料的晶格結(jié)構(gòu)與基片材料的晶格結(jié)構(gòu)不同時(shí),薄膜最初幾層的結(jié)構(gòu)將受到基片的影響,形成接近或類似基片的晶格尺寸,然后逐漸過渡到薄膜材料本身的晶格尺寸。在過渡層中的結(jié)構(gòu)畸變,將使薄膜產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力。這種由于界面上晶格的失配而產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力稱為界面應(yīng)力。為了減少界面應(yīng)力,基片表面晶格結(jié)構(gòu)應(yīng)盡量與薄膜相匹配。
    四、雜質(zhì)效應(yīng)
    在淀積薄膜時(shí),環(huán)境氣氛對(duì)內(nèi)應(yīng)力影響很大。真空室內(nèi)的殘余氣體或其它雜質(zhì)進(jìn)人薄膜結(jié)構(gòu)中將產(chǎn)生壓應(yīng)力。制備好的薄膜置于大氣中,會(huì)受到環(huán)境氣氛的影響,例如銅膜的表面遇到空氣會(huì)在表面生成一層很薄的氧化層,它也會(huì)使薄膜增加壓應(yīng)力。進(jìn)人薄膜中的殘余氣體還可能再跑出來,在薄膜中留下空位或微孔,從而出現(xiàn)張應(yīng)力。由于晶界擴(kuò)散使雜質(zhì)進(jìn)人薄膜中也會(huì)產(chǎn)生壓應(yīng)力。
    除了以上幾種原因以外,在薄膜生長(zhǎng)過程中由于小島的合并、晶粒的合并、缺陷、微孔的擴(kuò)散等,會(huì)引起表面張力的變化,也會(huì)引起薄膜內(nèi)應(yīng)力的變化。
主站蜘蛛池模板: 香港三级写真集 | 无码人妻aⅴ一区二区三区有奶水 | 亚洲国产成人在线观看网站 | 免费无码毛片一区二区本码 | 国产免费内射又粗又爽密桃视频 | 久久精品国产亚洲av忘忧草18 | 男男做肉爱视频在线观看 | 亚洲男同帅gay片在线观看 | www网站在线观看 | 日韩毛片在线影视精品国产呦系列在线看/欧美一级在线全免 日韩毛片在线免费播放 | 国产在线国偷精品产拍 | 国产91精品高跟丝 | 精品国产日韩亚洲一区在线 | av大片在线无码永久免费网址 | 成人片黄网站a毛片免费 | 久久久久亚洲爆乳少妇无 | 国产一在线精品一区在线观看 | 国产美女免费一区二区三区 | 一本道天堂成在人线av无码免费 | 麻豆一区产品精品蜜桃的广告语 | 午夜亚洲国产理论片二级港台二级 | 国产综合精品久久久 | 国产超薄黑色丝袜在线观看 | 无码中文字幕人妻在线一区二区三区 | 日本黄H兄妹H动漫一区二区三区 | 亚洲va久久久噜噜噜久久男同 | 午夜亚洲国产日本电影一区二区三区 | 亚洲桃色综合影院 | 亚洲精品美女久久777777 | 亚洲日韩爽爽爽在线观看 | 国产成人理论片在线观看 | 亚洲v无码精品色午夜蜜桃 亚洲v无码精品色午夜v电影 | 性欧洲精品videos | 欧美日韩国产在线观看88888 | 国产成人久久精品二三区麻豆玄幻 | 日韩人妻鲁交色情精品视频 | 好看的a v片名字 | 国产拍拍拍无码视频免费 | 亚洲国产精品无码一本二本三本色 | 国产精品久久久久久亚洲影视 | 中文国产成人精品久久下载 |